آماده سازی سیلیکان متخلخل با ابعاد نانومتر و میکرومتر و بررسی خواص الکتریکی آنها و مقایسه خواص الکتریکی نانوساختارها و میکروساختارها

در این کار، نانو و میکروساختارهای سیلیکان متخلخل شامل منافذ ماکرو، بر روی سیلیکان نوع p به روش آندیزاسیون الکتروشیمیایی در الکترولیت شامل dmf و اسید hf، ایجاد گردید. همچنین نانوساختارهای سیلیکان متخلخل شامل منافذ مزو به وسیله ی آندی سازی سیلیکان تک بلوری در محلول اسیدهیدروفلوریک و اتانول به دست می آید. تأثیر پارامترهایی همچون زمان آندی سازی، چگالی جریان و غلظت الکترولیت هم بر ساختار تخلخل و هم بر رسانایی سیلیکان متخلخل در حضور گاز و در هوای محیط برررسی شده است. اتصالها در ساختار نمونه ها، شامل یک لایه طلا روی سطح سیلیکان متخلخل و اتصال اهمیک آلومینیوم بر پشت ویفر سیلیکان می باشد، که به روش تبخیرگرمایی در خلأ ایجاد شده اند. در این پروژه، رسانایی ، زمان پاسخ و برگشت نانو و میکروساختارهای سیلیکان متخلخل را برای فشار ثابتی از گازهای n2 و co2 بررسی کرده و آنها را با هم مقایسه می کنیم. همچنین سیستم آزمایشگاهی را برای سنسورهای گازی توصیف کردیم و رفتار الکتریکی لایه های سیلیکان متخلخل (نوع p) را در حضور گازهای n2 و co2 برای نمونه هایی با شرایط ساخت متفاوت بررسی کردیم. نتایج نشان می دهد که با جذب مولکول های گاز، جریان افزایش می یابد. اندازه گیری های مشخصات i-v در فشار اتمسفر و دمای اتاق انجام شد.